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半导体冷却液(氟系)

Semiconductor Cooling Fluid (Fluorinated)
半导体冷却液(氟系) FL300 / FL470 — 韩国FUD株式会社 半导体冷却液(氟系) FL300 / FL470 — 韩国FUD株式会社
FL300 / FL470

替代 3M FC-3283 / FC-40 的半导体前道工序冷却液

用于半导体前道工序(CMP、刻蚀、CVD、清洗)设备及 chiller 的氟系冷却液。在 3M 停产后,作为 FC-3283 / FC-40 的替代品,已向三星电子稳定供货,并完成韩国 K-REACH 物质登记对应。

半导体设备 chiller3M 替代K-REACH

产品信息

型号FL300 / FL470
替代目标3M FC-3283 / FC-40(已停产)
用途
  • 半导体前道工序冷却 — CMP · 刻蚀 · CVD · 清洗
  • 设备 chiller 冷媒
特点
  • 高效的热传导介质,帮助半导体及显示器制造工序与 chiller 设备精确控温
  • 拥有适用于低温、中温、高温的多种沸点规格
供货现状
  • 三星电子供货中
  • K-REACH 物质登记对应
包装规格可根据客户需求定制

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